プロセス-デバイスシミュレータ

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以前、マサチューセッツ工科大学で半導体製造技術（ガラス基板SOIと相変化メモリ）の研究を実施していたときに自分の備忘録と日本人学生向けに作成したテクノロジーCADの解説ページですが、現在でも見に来る人がいるようなので、下記アドレスに保管しました。30年も前の資料なので、ご注意ください。